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日本樫山kashiyama真空泵 SDE-X系列 節(jié)能型；超越標準型的耐用性，耐嚴酷的工藝。 1.耗電量；1.3kW[與傳統(tǒng)型相比減少54%]。 2.經久耐用，可在各種環(huán)境下進行廣泛的加工。

日本樫山kashiyama真空泵 SDE系列 工藝的標準型 1.可達到200kL/min. 2.*適合大尺寸晶圓和FPD使用。 3.經得起各種工藝的考驗

日本樫山kashiyama真空泵 MU-P/H系列 ·高溫，更多清洗 ·工藝耐久性 ·按根數計算的*小工藝功耗

日本樫山kashiyama真空泵 MU-X系列 ·消耗功率0.35kW ·占地面積極小

日本樫山kashiyama真空泵 NeoDry-36G ·采用IEC電源接口，電壓AC100-220V ·搭載RS485通訊口，可以進行data通訊， ·可以控制轉速

日本樫山kashiyama真空泵 NeoDry-7G ·采用IEC電源接口，電壓AC100-220V ·搭載RS485通訊口，可以進行data通訊， ·可以控制轉速

日本樫山kashiyama真空泵 NeoDry-30G ·采用IEC電源接口，電壓AC100-220V ·搭載RS485通訊口，可以進行data通訊， ·可以控制轉速

日本樫山kashiyama真空泵 NeoDry 15G ·適合研究室等**領域 ·無負荷運行噪音小于45dB/36G：50dB（A） ·選配Gas Ballast，水蒸氣處理量增加10%